真空機組是以羅茨泵為主泵，以水環(huán)泵為前級泵串聯(lián)而成的。該設(shè)備目前在各個領(lǐng)域得到了使用，接下來小編就向你介紹不同類型的真空機設(shè)備及它的特點介紹。

　　1、真空設(shè)備一般根據(jù)主泵的類型命名，也可以分為低、中、高的真空機組。不同類型的真空設(shè)備適用于不同的操作情況，低真空設(shè)備，壓力高，排氣量大，多用于真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空干燥、真空脫氣等。低真空設(shè)備普通主泵、往復(fù)泵、水環(huán)泵、油封機械泵、螺桿真空泵、濕式羅茨泵、噴射泵、分子篩吸附泵等。直接排放到大氣中，可以勝任。但根據(jù)抽出氣體的清潔度、濕度等條件，需要配備除塵器、氣水油水分離器、干燥阱等設(shè)施。
　　2、介質(zhì)真空設(shè)備，適用于涂布機、真空冶煉、真空熱處理、醫(yī)藥化工、電焊等行業(yè)需要高抽速并獲得介質(zhì)真空的各種真空系統(tǒng)。過去真空機組多由羅茨真空泵油封機械泵，羅茨真空水環(huán)真空泵，雙羅茨真空泵組成。隨著螺桿真空泵等無油真空泵的興起，羅茨真空泵螺桿真空泵等無油真空設(shè)備逐漸增多，適應(yīng)性更廣。
　　3、高真空設(shè)備工作在分子流狀態(tài)，工作壓力10-2到10-6帕，排量小，泵速高。主泵一般由擴散泵、分子泵、鈦升華泵和低溫冷凝泵等承擔。因為它們不能直接在大氣中工作，所以須配備前級泵、預(yù)泵等。在特殊情況下，為了防止氣壓波動，還需要配備維護泵和儲氣罐。
　　4、真空機組的工作壓力范圍為10-6到10-10 Pa，要求主泵在10-7到10-8Pa以上，并保證工作壓力范圍內(nèi)相應(yīng)的抽氣速度，如濺射離子泵、渦輪分子泵等。系統(tǒng)的材料須能承受200到450℃的高溫烘烤，并保證低漏風率和出口率等。
　　以上是為了區(qū)分不同的真空機組及應(yīng)用，也介紹了它們各自的特點。產(chǎn)品也可以按照特點分類，比如含油真空，無油真空設(shè)備。隨著真空技術(shù)的快速發(fā)展，該設(shè)備的種類不再局限以前的使用操作，目前得到了廣泛應(yīng)用。